Исследование электромагнитного левитирующего подвеса для перемещения изделий на операциях микроэлектронного производства
ВВЕДЕНИЕ
Электролевитирующие подвесы (ЭЛП) являются перспективным направлением в развитии технологии микроэлектроники. Они представляют собой устройства, основанные на электромагнитном взаимодействии между магнитным полем и электрическим током, которые позволяют поддерживать тонкие объекты в вакууме без каких-либо касаний или опор. Это свойство ЭЛП делает их особенно привлекательными для использования в микроэлектронике, где даже малейшие дефекты могут привести к сбою всей системы.
Одним из главных преимуществ использования ЭЛП в микроэлектронном производстве является отсутствие физического контакта между объектами и подвесом, что позволяет избежать механических повреждений и загрязнения. Кроме того, ЭЛП могут поддерживать объекты в вакууме, что является необходимым условием для производства микроэлектронных устройств.
Оглавление
ПЕРЕЧЕНЬ ПРИНЯТЫХ СОКРАЩЕНИЙ И ОБОЗНАЧЕНИЙ.. 5
1 ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ... 8
2 ОБЗОРНО-АНАЛИТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ. 11
3 СИНТЕЗ МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ЭЛП.. 34
4 ПРОЕКТИРОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКОГО МАКЕТА СИСТЕМЫ ЭЛП.. 55
Библиографический список литературы
Крупные научные труды в данной области знаний, защищенные диссертации (канд. и докт.) и д.р., в том числе иностранные.
- Ким К.К. Системы электродвижения с использованием магнитного подвеса и сверхпроводимости: Монография. — М.: ГОУ «Учебно-методический центр по образованию на железнодорожном транспорте», 2007. – 360 с.
- Осокин Ю. А., Герди В. Н., Майков К. А., Станкевич Н. Н. Теория и применение электромагнитных подвесов. — М.: Машиностроение, 1980. – 284 с.
- Анцев Г.В., Богословский С.В., Сапожников Г.А. Проектирование устройств с электромагнитным подвесом. М.: Наука, 2010. - 422 с.
- Мартыненко Ю. Г. Движение твёрдого тела в электрических и магнитных полях. — М. : Наука, 1988. — 357 с
- Мартыненко Ю.Г. О проблемах левитации тел в силовых полях. Статья Соросовского Образовательного журнала, 1996. – с. 1-8.
- Буль О.Б. Методы расчёта магнитных систем электрических аппаратов: Магнитные цепи, поля и программа FEMM: учебное пособие для студентов высших учебных заведений / О. Б. Болеславович. – М.: Издательский центр «Академия», 2005. – 336с.
- Байда Е.И. Расчет электромагнитных и тепловых полей с помощью программы FEMM: учебно-методическое пособие. – Х.: 2015. – 147с.
- А.Г. Коробейников Проектирование математической модели системы автоматического управления магнитной левитации, ИТМО (Россия, г. Санкт-Петербург), 2021.
- Levitator Автор: crocodil, crocodil@mail.ua Опубликовано 15.01.2014. [Электронный ресурс]. – Режим доступа: http://radiokot.ru/circuit/analog/games/26/ дата посещения: 15.05.2022
- Статья Characteristics Analysis of an Electromagnetic Actuator for Magnetic Levitation Transportation Junjie Jin, Xin Wang, Chuan Zhao , Fangchao Xu, Wenzhe Pei , Yuhang Liu and Feng Sun. 2022
Магнитная левитация используется для позиционирования MEMS-робота в 3-D с помощью внешнего магнитного привода. Поскольку питание подается извне, робот не оснащен источником питания или контроллером. Благодаря магнитной левитации при позиционировании робота MEMS полностью исключаются силы трения и сцепления. Устранение любых механических компонентов, таких как соединительные рычаги или провода, повышает маневренность, а также обеспечивает более высокую повторяемость. Движение без пыли и возможность работы в закрытых помещениях являются другими ключевыми характеристиками микроробота с магнитной левитацией.
Микроробот имеет магнитную секцию для взаимодействия с внешним магнитным полем для создания силы левитации. Этот магнитный элемент изготавливается либо из коммерческих магнитов NdFeB, либо из электроосажденных пленок Co-Ni–Mn–P.