Показатели качества поверхностей оптических деталей
Введение
Задача исследования показателей качества поверхностей оптических деталей, является важной и актуальной задачей для разработки оптико-электронных систем, поскольку оперативный высокоточный межоперационный контроль позволяет обеспечить высокие эксплуатационные и технологические показатели. Для этого необходима разработка методики контроля качества крупногабаритных оптических поверхностей высокой точности с применением метода калибровки двух плоскостей.
Главными параметрами, которым должна удовлетворять разрабатываемая методика контроля являются:
Широкий пространственно-частотный диапазон анализируемых неоднородностей;
Высокая точность измерения неоднородностей в указанном пространственно-частотном диапазоне;
Контроль качества изготовления материала и поверхности оптической детали.
Разработка методики контроля качества крупногабаритных оптических поверхностей высокой точности является комплексной задачей, требующей решения нескольких проблем, таких как:
Опреде
Содержание
Введение 2
1. Анализ требований к качеству оптических поверхностей 4
1.1 Анализ неоднородностей оптических поверхностей и характеризующих их количественных параметров 4
1.2 Анализ классификаций поверхностных неоднородностей и требований к параметрам их качества 7
1.3 Методика анализа неоднородностей на поверхности оптической детали при помощи гармонического анализа 9
2. Анализ существующих методов контроля качества оптических поверхностей 11
2.1 Метод контроля качества оптических поверхностей на основе интерферометра с перестройкой длины волны излучения 13
2.2 Метод контроля качества оптических поверхностей с использованием дифракционной волны сравнения 15
2.3 Метод контроля качества оптических поверхностей на основе метода измерений коррелограмм 17
3. Анализ методов динамического контроля параметров качества оптических поверхностей 20
3.1 Динамический метод контроля качества оптических поверхностей с использованием пикселизованной поляризационной маски 20
3.2 Динамический метод контроля качества оптических поверхностей с тремя независимыми CCD камерами 23
3.3 Анализ частотных диапазонов методов динамической интерферометрии 26
Список литературы не найден
етра можно разложить на гармоники с 1-ого по n-ый порядок, то это позволяет анализировать диапазоны I-IV, не опираясь на определенный диаметр апертуры.
Таким образом, диапазоны низкочастотных и высокочастотных неоднородности можно представить в виде диапазонов гармоник, что является универсальнее, так как не зависит от апертуры исследуемой детали. Эти диапазоны можно исследовать как для детали апертурой 1000мм, так и для детали апертурой 100мм.
После того как были проведены исследования параметров качества оптических шероховатых поверхностей и проанализированы спецификации, необходимо провести анализ современных измерительных методов и инструментов, которые используются для этих целей.
2. Анализ существующих методов контроля качества оптических поверхностейВ предыдущем разделе были определены количественные статистические характеристики, по которым можно контролировать качество оптических поверхностей.
Следующей важной задачей разработки методики и аппаратуры контроля крупн