Тонкопленочные технологии
ВВЕДЕНИЕ
Тонкие пленки широко применяются в качестве функциональных, упрочняющих, светоотражающих, проводящих и диэлектрических материалов при формировании контактов, изготовлении печатных плат, элементов интегральных схем в микроэлектронике, создании светофильтров, элементной базы оптоэлектроники, в современных литографических процессах.Благодаря интенсивным экспериментальным и теоретическим исследованиям в разработке технологии тонких пленок в последние годы здесь достигнут значительный прогресс. Поскольку смена информации в области тонкопленочных технологий происходит относительно быстро, существует необходимость дать представление об основных технологических процессах, используемых в настоящее время, а также об их особенностях при формировании тонких пленок и покрытий различной природы.
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1 Общие сведения о тонких пленках
1.1 История появления технологии
1.2 Классификации пленок и покрытий
1.3 Особенности тонкопленочного состояния вещества
2 Подложечные материалы
2.1 Материалы подложек, их достоинства и недостатки
2.2 Требования, предъявляемые к подложкам
3 Процесс роста тонких пленок
3.1 Стадии формирования пленок
3.2 Механизмы роста пленок
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
Колобнев И.Ф. и др. Справочник литейщика. Цветное литьё из лёгких сплавов. М., Машиностроение, 1974, 416 с.
ГОСТ 2856-79 «Сплавы магниевые литейные».
В.Г.Воскобойников, В.А.Кудрин, А.М.Якушев Общая металлургия: Учебник для вузов- 4е изд., перераб. И доп.- М., «Металлургия», 1985, 480с.
Авиационные материалы. Т5 «Магниевые и титановые сплавы» Под ред. А.Т. Туманова-научно исследовательский институт авиационных материалов ВИАМ, 1973г.,583с.
Литейное производство цветных и редких металлов 2е изд. А.В. Курдюмов, М.В. Пикунов, В.М. Чурсин М.: Металлургия, 1982, 352 с.
Основы литейного производства В.А. Озеров, А.С. Муркина, 1987г.
Литейное производство А.М. Михайлов, Б.В. Бауман, 1987г.
Диаграмма состояния двойных металлических систем. Справочник: Под ред. Н.П. Лякишева – М.: Машиностроение. Т1, 1996, 992с;Т2, 1997, 1024с; Т3 книга 1 и 2, 2000, 448с.
Лекции по дисциплине «Литьё и плавка цветных металлов и сплавов».
Комплексные исследования пленок стали проводить сравнительно недавно из-за трудностей, которые возникали при их изучении по сравнению с массивными образцами вследствие существенного влияния размерного эффекта на функциональные характеристики пленочного слоя. Поскольку в большинстве случаев теоретические модели, которые хорошо описывают процессы, протекающие в объемном состоянии, становятся непригодными для описания пленочных материалов, возникла необходимость в дополнительных современных методах анализа состава и структуры пленок, а также экспериментальных методах, позволяющих изучать эффекты переноса вещества в малых пространственных масштабах и количественных соотношениях.В настоящее время общепринятого определения «пленка» нет, но наиболее полно его раскрывает следующая формулировка: Пленка – тонкий слой связанного конденсированного вещества, толщина которого соизмерима с расстоянием действия поверхностных сил; представляет собой термодинамически стабильную или метастабильную часть гетерогенной системы «пленка – подложка».