Программные средства для приборно-технологического моделирования
ВВЕДЕНИЕ
Разработка интегральных схем и полупроводниковых приборов всегда требовала больших финансовых вложений со стороны предприятия. Перед тем, как устройство выйдет в свет, его нужно запроектировать в полном соответствии с поставленными техническими требованиями, что само по себе не так просто. Именно тут и приходят на помощь программно-технологические средства для полуавтоматического проектирования интегральных схем, полупроводниковых приборов и любой другой полупроводниковой техники, где нужна повышенная точность. В нынешних реалиях не одно предприятие не может себе позволить вести разработку вслепую. Это означает что перед выходом любого устройства в свет, оно должно быть каким-то образом проверено на работоспособность.
Все современные предприятия ориентированы на оптимизацию технологических процессов. Как правило они разрабатывают программы моделирования физических процессов самостоятельно, иногда используют готовые программные пакеты.
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ3
РАЗДЕЛ 1. ОСОБЕННОСТИ ПРОВЕДЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ КОНТАКТНОЙ МЕТОДИКИ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ4
1.1 Основные возможности системы моделирования4
1.2 Принципиальная схема устройства микроскопа5
1.3 Режимы работы АСМ7
1.4 Контактный режим работы.8
ЗАКЛЮЧЕНИЕ13
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ14
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
1. Миронов В.Л. ≪Основы сканирующей зондовой микроскопии≫// М., Техносфера 2005.
2. Неволин В., ≪Зондовые технологии в электронике≫// М., Техносфера 2014г.
3. Суслов А. А., Чижик С. А. «Сканирующие зондовые микроскопы (обзор)» // Материалы, Технологии, Инструменты — Т.2 (1997), № 3, С. 78-89.
4. Кураева Е. В. Принцип действия атомно-силового микроскопа //В мире научных открытий: материалы III Всероссийской студенческой научной конференции (с международным участием). 20-21 мая 2014 г.-Ульяновск: УГСХА им. ПА Столыпина, 2014.-Том II. Часть 1. – УГСХА им. ПА Столыпина, 2014.
5. Быков В., Лазарев М., Саунин С. Сканирующая зондовая микроскопия для науки и промышленности //Электроника: наука, технология, бизнес. – 1997. – №. 5. – С. 7-14.
6. Тихомиров А. А. Основы сканирующей зондовой микроскопии и методы ее применения в современных научных исследованиях //Приложение к журналу «Вестник РГРТУ. – 2009. – №. 4.
7. Дедкова Е. Г. и др. Приборы и методы зондовой микроскопии //Москва: МФТИ. – 2011. – С. 160.
Давайте же разберем основные возможности данного технологического продукта
1.1 Основные возможности системы моделирования
В системе Sentaurus TCAD полно представлены физические модели как технологических процессов, так и механических, тепловых, оптических, электрических явлений, важной частью которых является перенос носителей заряда в полупроводниковых структурах.
Основными инструментами задания техпроцессов являются программы Sentaurus Process и Sentaurus Topography.
Sentaurus Process – модуль, предназначенный для компьютерной имитации современных процессов кремниевых и других твердотельных технологий. Эта программа позволяет проводить одно- двух- и трехмерное моделирование и характеризуется современной программной архитектурой и наличием моделей для современных и перспективных технологических процессов.
Рис.1.1 – Состав пакета программ Sentaurus TCAD